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來源: 發布時間:2021-10-13
近年來,隨著極大規模集成電路產業的發展,高純氫氟酸、高純硝酸的使用范圍越來越廣,面對技術指標不統一、執行標準不一致的現狀,在全國有色金屬標準化技術委員會、全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分技術委員會的組織下,ICAS英格爾協同國內外專業機構,共同起草制定了T/CNIA0117-2021《電子工業用高純氫氟酸中痕量陰離子含量的測定 離子色譜法》以及T/CNIA0119-2021《電子工業用硝酸中痕量陰離子含量的測定 離子色譜法》。
統一標準,助力半導體轉型
雖然,中國已經成為全球最大的半導體市場,但隨著集成電路產業對電子材料的純度要求不斷升高,在一些關鍵的高端材料中,國產化仍存在問題。高端產業主要被歐美日韓等少數國家壟斷,國內大部分產品自給率較低。
隨著以美國為首的西方勢力對中國半導體材料的技術制約。半導體材料行業逐漸向精細化、高端化、尖端化自給自足的方向轉型。由于半導體材料種類繁多,加工工藝復雜,形態各異,技術難度高,真實的反映半導體材料質量情況,掌握其關鍵參數的生成工藝,才能助力研發技術的更新迭代。因此建立一個適用于電子材料產業的技術標準和檢測方法標準,對促進我國半導體產業發展具有重要意義。
英格爾推動產業鏈的完善
在半導體產業中,材料和設備是推動集成電路技術創新的引擎,也是芯片制造的支撐性行業,所有的制造和封測工藝都會用到不同的半導體材料。
伴隨著物聯網、大數據、人工智能、5G通信、新能源汽車等行業快速發展,國內芯片市場需求持續增長。巨大的機遇推動我國半導體材料產業初步形成較完整創新研發和產業化體系。我國開展第三代半導體材料相關研究的國家重點實驗室、國家工程中心、國家工程實驗室20余家。上、中、下游及設計、配套等各環節均開始逐步完善,初步形成了較為完整的產業鏈。
英格爾作為產業鏈的其中一環,已經具備標準編制即相關實驗條件和分析能力,以創新技術為核心,推動了2項標準的起草。英格爾聯合國際巨頭安捷倫共同建立的高純電子材料聯合檢測中心,具備CMA、CNAS雙資質認可,百級潔凈實驗室環境,并嚴格按照合規化標準化質量要素管控。不僅具備高標準實驗室、實驗設備,同時具備專業技術人員,能對particles、金屬元素、陰離子、理化參數等性能進行評估并加以鑒別,滿足整體產品質量質控,以專業化、合規化認證、檢測、分析、研發能力推動產業鏈的完善。